檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "模擬分析".ckeyword (精準) and year="106"
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爐管為半導體產業常使用的製程設備,其良率為重要之技術指標,因此本研究針對垂直式爐管進行流場數值模擬,評估氣體噴注器的流量對於製程良率所產生的影響,藉由晶圓薄膜厚度之實測比對,找出氣體噴注器的出口流量…
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高雄美濃大地震(民國105年)對私有建物造成的震災傷亡與經濟損失,顯示耐震補強工程對私有建築物之重要性,亦使政府更加重視國內建築物之耐震能力,但囿於涉及人民權利義務關係及政府財政能力,政府僅能於既有…